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被測(cè)件最大長度：

150 mm

工作臺(tái)行程：

5 mm

測(cè)桿移動(dòng)范圍：

0.5mm

分劃板刻度范圍：

±50格

直接測(cè)量范圍：

5-20μm

分度值調(diào)整范圍：

0.05-0.2 μm

推薦使用分度值：

0.1 μm

測(cè)量壓力：

(1.5±0.1) N

儀器示值穩(wěn)定性：

0.02 μm

儀器誤差：

±（0.03+1.5ni △λ/λ）um

n 是格數(shù), i是格值,λ是濾光片中心波長，△λ是濾光片波長誤差

儀器體積：

280×500×700 mm

儀器重量：

40 kg

1

1、五筋園臺(tái)

2

九筋瑪瑙臺(tái)

3

可調(diào)園平臺(tái)

4

輔助臺(tái)

5

平面測(cè)帽 Ф2

6

小球面測(cè)帽

7

干涉濾光片