本文標(biāo)題："顯微鏡的工作原理-可觀察、分析鍍極層的三維表面"
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顯微鏡的工作原理-可觀察、分析鍍極層的三維表面
原子力顯微鏡是在掃描隧道顯微鏡
(STM)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的，是將STM和針式輪廓曲線(xiàn)儀的工作原理相結(jié)合的微觀
成像系統(tǒng)，可觀察、分析鍍極層的三維表面形貌。
原子力顯微鏡的工作原理原子力顯微鏡通過(guò)一個(gè)一端固定、另一端裝
有針尖的彈性微懸臂來(lái)檢測(cè)表面形貌。當(dāng)針尖對(duì)樣品表面掃描時(shí)，兩者之間會(huì)產(chǎn)生
靜電力、范德華力等弱的相互作用力，進(jìn)而引起了微懸臂的形變，微懸臂的形變可
反映針尖與樣品的相互作用情況。這類(lèi)弱作用力與針尖與樣品間的距離有關(guān)，表面
的微觀起伏會(huì)影響微懸臂的形變，即表面形貌的變化導(dǎo)致了相互作用力的改變。如
果用激光探測(cè)微懸仲的位移并將其反射到光電檢測(cè)器后，就變成了3一10nm的激
光點(diǎn)位移，由此產(chǎn)生了電壓的變化，通過(guò)檢側(cè)樣品表面不同掃描位置電壓的變化，
就能夠得到原子分辨率的表面形貌圖像。
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