本文標(biāo)題："電子顯微鏡是根據(jù)不同原理的現(xiàn)象來構(gòu)成襯度的"
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電子顯微鏡是根據(jù)不同原理的現(xiàn)象來構(gòu)成襯度的
另一種是掃描電子顯微鏡((SEM)，它可以對(duì)樣品表面進(jìn)行掃描.
透射電子顯微鏡可以有很高的分辨率(3~5埃左右)，而掃描電子
顯微鏡的分辨率只有100~200埃.可是，透射電子顯微鏡只能使用
薄得足以使電子束能明顯穿透過的試樣.所允許的實(shí)際厚度與材料
及所用的加
速電壓有關(guān)，但一般小于2000埃.因此，微電子學(xué)中所用的大多數(shù)
薄膜，即使它們不是附在較厚的基片上，對(duì)用透射電子顯微鏡觀察
而言也是太厚了.為此，塊狀的材料或較厚的薄膜必須減薄，或者，
假如只是對(duì)表面結(jié)構(gòu)有興趣，則可以用足夠薄的膜來制作復(fù)型.
掃描電子顯微鏡是根據(jù)一些不同的現(xiàn)象來構(gòu)成襯度的，所有
的測(cè)量都能在一個(gè)表面上進(jìn)行.對(duì)于基本的材料研究，諸如尋找
沉淀物以及研究晶粒結(jié)構(gòu)和位錯(cuò)，透射電子顯微鏡是最適合的.對(duì)
于器件工藝的控制和失效分析，則掃描電子顯微鏡更為有用，它
可用作為光學(xué)顯微鏡的擴(kuò)展，或用來檢側(cè)任何其它方法都不易辨別
的缺陷.
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