本文標題："表面粗糙度的測量和表面粗糙度測量工具顯微鏡"
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表面粗糙度的測量和表面粗糙度測量工具顯微鏡
隨著科學技術的發展，在機器和儀器制造中，除要求零件具有足
夠的尺寸、形狀精度以外，還對零件表面質量提出要求。有時零件
的表面粗糙度直接影響機器和儀器的工作可靠性和使用壽命，
所以表面粗糙度的測量和表面統計特性的確定對許多應用領域是非
常重要的。例如，光學零件的表面粗糙度會產生散射光和表面吸收
而影響成像質量，因此在高能激光系統、現代天文望遠鏡、跟蹤系
統、以合肥市其他現代光學系統中，對光學零件的表面質量提出了
愈來愈高的要求。又如磁鼓、磁盤等現代計算機心不可少的外存儲
單元，光盤技術中所用的光盤，影響單位面積上存儲信息量的主要
因素是表面粗糙度。薄膜零件和微電子技術中，微細電路的穩定性
和可靠性在很大程度上取決于這些零件基片的表面平滑度。
因此表面粗糙度也是一個重要的技術經濟問題，愈來愈引起人們的
重視，而成為現代光學測量技術中一個十分活躍的技術分支。
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