本文標題："粗糙度測量廣泛使用的另一種儀器是電子顯微鏡"
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表面粗糙度儀測量廣泛使用的另一種儀器是電子顯微鏡
大多數表面都有某種程度的隨機性，因此需要以統計形式來分
析，在統計學上用來代表單個輪廓需要的數據點數是很大的，為
了表示一個區域，要將這個數平方，以及在數據處理和測陬方面
產生了難以解決的問題，曾試圖用光學方法直接得到表面功率譜
表達式來解決這個數據獲取的問題，但是這種技術受幾個不利條
件的限制：它假設表面的統計規律是平穩的和正態的；它應能給
出便于數據處理過程的信息形式；它需要用透明物質做成的表面
復制品，以及隨之帶來一些缺欠，廣泛使用的另一種儀器是掃描
電子顯微鏡，它用電子束的櫥格式掃描產生表面的圖象，它的高
分辨率和聚焦深度使它成為研究較光滑表面的極有用的儀器，但
是評定粗糙的表面卻很困難。
缺乏定量的拓撲圖信息是所有上述技術的嚴重缺點，特別是工
程應用中所關心的特性在分布的尺寸范圍內可復蓋許多數量級的
場合，研究三維空間表面的最可靠的方法仍然是用觸針式儀器在
表面上測得一組線值，本文討論了這個技術，并敘述了用三維表
面測量的新的完整的自動系統的設計，結構和使用。
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