本文標題："器件電效率細小電子元件幾何結(jié)構(gòu)輪廓測量顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------
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器件電效率細小電子元件幾何結(jié)構(gòu)輪廓測量顯微鏡
這種特殊結(jié)構(gòu)的器件，在用載流子濃度和有源層長度的
最佳乘積表示其特征時，最終的熱密度將受到所用長度的影
響。因為，漸近瞬態(tài)溫度與這個長度是線性相關(guān)的。和半無
限空間的擴展電阻有關(guān)的平衡溫度與這個長度無關(guān)，而與該
器件的半徑成線性關(guān)系。
在本分析中可能出現(xiàn)的復雜性，是由于半導體材料的熱
導率與溫度成反比關(guān)系而引起的。雖然，找出了對于可變電
導率的穩(wěn)態(tài)解，以致可以用線性分析求出所引進的誤差大
小。但是，瞬態(tài)解還是忽略了這個問題。
對幾種幾何結(jié)構(gòu)，已經(jīng)推導出在單一脈沖和周期性激發(fā)
兩種情況下在有源層內(nèi)的最終的溫度分布。利用歸一化的熱
時間常數(shù)和穩(wěn)態(tài)溫度這兩個可變量，以圖解的形式表示這些
結(jié)果。并用有源層的長度和有關(guān)的覆蓋層的厚度作為參數(shù)，
計算了用砷化鎵和硅作襯底的，具有特殊幾何結(jié)構(gòu)的熱時間
常數(shù)。
為了更全面地了解這個問題，特別是從材料和幾何結(jié)構(gòu)
上考慮，應當了解由于有源區(qū)內(nèi)的溫度分布而引起的對某種
器件的限制，并盡可能地使這些影響減至最小。器件電效率
的改善直接與管殼的熱效率有關(guān)，因此也與整個散熱器的設(shè)
計有關(guān)。
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