本文標(biāo)題："標(biāo)準(zhǔn)量塊的尺寸與被測(cè)孔尺寸之差-工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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標(biāo)準(zhǔn)量塊的尺寸與被測(cè)孔尺寸之差-工具顯微鏡
測(cè)量時(shí)，先根據(jù)被測(cè)孔的尺寸選用標(biāo)準(zhǔn)量塊。由于能形成白光
干涉的光程差極小，因此標(biāo)準(zhǔn)量塊的尺寸與被測(cè)孔尺寸之差，必須
在幾微米之內(nèi)。將選用的量塊與一對(duì)鍍銀平晶研合，形成標(biāo)準(zhǔn)具。
將標(biāo)準(zhǔn)具與被測(cè)工件一起置于工作臺(tái)的相應(yīng)位置上。首先將被測(cè)孔
移動(dòng)到使測(cè)量用的棱鏡深入到被測(cè)孔的測(cè)量位置。調(diào)整干涉僅及工
作臺(tái)，使兩組條紋等距且對(duì)稱(chēng)地分布在視場(chǎng)中棱錐脊線影像的兩邊
，讀取兩零級(jí)條紋頂點(diǎn)之間的刻度格數(shù)。退出被測(cè)孔，移動(dòng)工作臺(tái)
，使棱鏡進(jìn)入標(biāo)準(zhǔn)具的測(cè)量位置。調(diào)整工作臺(tái)和安裝標(biāo)準(zhǔn)具的小工
作臺(tái)，使兩組白光干涉條紋再次出現(xiàn)在視場(chǎng)中。通過(guò)調(diào)整工作臺(tái)，
盡可能使出現(xiàn)的兩組條紋相互間的間距相等，相對(duì)棱脊的影像盡可
能對(duì)稱(chēng)，并與棱脊影像平行。再次讀出兩條零次條紋間的刻度數(shù)，
兩組刻度數(shù)之差乘以格值即為孔徑相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)具尺寸之差。誤差的
方向不僅決定于干涉條紋的移動(dòng)方向，而且還決定于棱鏡的角度是
大于還是小于90°棱鏡角度大于90°的情形，這時(shí)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)具，若
零級(jí)條紋的間距大于測(cè)孔時(shí)的相應(yīng)間距，則孔的直徑比標(biāo)準(zhǔn)具的尺
寸大。反之，比標(biāo)準(zhǔn)具的尺寸小。
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