本文標(biāo)題："表面微機(jī)械傳感器原理-實(shí)時(shí)振動(dòng)分析元件"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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表面微機(jī)械傳感器原理-實(shí)時(shí)振動(dòng)分析元件
實(shí)時(shí)振動(dòng)分析儀，只需要商品化低成本的元件，所以比較便宜。新
型微機(jī)械加速度計(jì)大幅減少了成本和所需的信號(hào)調(diào)理電路。這些新
型表面微機(jī)械傳感器的成本比曾經(jīng)是標(biāo)準(zhǔn)的壓電狀態(tài)監(jiān)測(cè)儀的成本
低。此外，典型的微機(jī)械傳感器的靈敏度將保持在工業(yè)溫度的1％
公差范圍內(nèi)，從而免除了溫度補(bǔ)償和校準(zhǔn)的需要。可以輕松安裝，
因?yàn)榧铀俣扔?jì)能夠獨(dú)立于機(jī)器本身的控制，來(lái)收集振動(dòng)信號(hào)。
激光測(cè)量系統(tǒng)的組件
激光測(cè)量系統(tǒng)通常包括：
1)激光頭。
2)干涉儀及其相關(guān)反射鏡。
3)測(cè)量接收器和測(cè)量與控制電路。
某些測(cè)量不能直接將干涉儀輸入光圈對(duì)準(zhǔn)激光頭。因此，這類系
統(tǒng)還將包括各種光束定向光學(xué)部件。此外，系統(tǒng)還可能包括環(huán)境遙
感和／或波長(zhǎng)跟蹤，來(lái)進(jìn)一步測(cè)量補(bǔ)償由于環(huán)境參數(shù)變化隨之而來(lái)
的激光波長(zhǎng)的變化。激光器的激光頭用做光束和參考頻率源。光學(xué)
儀器和測(cè)量接收機(jī)使用激光束產(chǎn)生的測(cè)量信號(hào)。參考和測(cè)量信號(hào)與
環(huán)境傳感器信號(hào)一起測(cè)量電路產(chǎn)生的線位移信息。系統(tǒng)控制器可以
讀取和顯示此位移信息。此外，測(cè)量電路輸出實(shí)時(shí)信號(hào)表示一個(gè)目
標(biāo)和實(shí)際位置之間的差。此誤差信號(hào)可使伺服電子系統(tǒng)直接驅(qū)動(dòng)伺
服電動(dòng)機(jī)。干涉儀和反射器
干涉儀和反射器是激光測(cè)量系統(tǒng)關(guān)鍵的光學(xué)元件。激光頭發(fā)出
光束的主要部分被傳送到干涉儀。干涉儀是一個(gè)兩極化分束器，反
射一個(gè)極化光束，傳送另一個(gè)光束。光束分路器定向使得反射光束
與通過的光束彼此成直角。
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