本文標(biāo)題："顯微鏡檢查300mm晶片及外觀檢查-搭配多種的觀察方法"
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顯微鏡檢查300mm晶片及外觀檢查-搭配多種的觀察方法
特點(diǎn)
◆高安全性高可靠性
●針對各類晶片,設(shè)計出各種抓取手臂,提昇機(jī)提穩(wěn)定性, 設(shè)計新型的吸取裝置可對應(yīng)特殊晶片
●可以針對各種晶片資料儲存,提高安全性及多變性
●對應(yīng)300mm晶片的薄片
●翻轉(zhuǎn)時增加防掉落裝置,
◆簡單的操作 提昇觀察的效率
●人性化符合人體工學(xué)的操作環(huán)境,可減少操作者因長期使用產(chǎn)生的疲憊感,進(jìn)而提昇工作效率
◆提供多種觀察平臺及特殊光源
●在顯微觀察可搭配多種的觀察方法,可滿足您的各種需求
明視野
暗視野
微分干涉觀察法
螢光觀察法
深層紫外光觀察
●設(shè)計出各種光源,光線,的察覺晶片表面的缺陷
●多種光源裝置提供給使用者選擇, 搭配特定波長,更輕松簡單得檢察晶片表面背面上的異物微粒、刮痕、薄膜等等運(yùn)用…
◆更豐富有彈性的搭配環(huán)境環(huán)境
●針對各種環(huán)境,設(shè)計出多種高畫質(zhì)的顯微照相系統(tǒng)都可搭配300mm半導(dǎo)體晶片傳送檢查機(jī)
●量測分析軟體可對應(yīng)各種的影像分析
●可搭配高畫質(zhì)的攝影機(jī)或數(shù)位相機(jī),即可在螢?zāi)簧嫌^察加強(qiáng)方便性和效率
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