本文標(biāo)題："晶片微細(xì)加工品檢用金相顯微鏡-上海光學(xué)儀器一廠"
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晶片微細(xì)加工品檢用金相顯微鏡-上海光學(xué)儀器一廠
要造就如此微小又兼具傳導(dǎo)、震動、移動等機(jī)械功能整合于一身的感測器，
一般的機(jī)械加工方式均無法達(dá)成，唯有奈米電子MEMS可以實(shí)現(xiàn)微細(xì)加工的要求。MEMS即是在１塊晶片(矽和玻璃材料)上使用微加工的技術(shù)，
例如: 黃光圖形化、刻蝕、金屬電鑄、摻雜等手段，將機(jī)械功能(磁性傳感、移動齒輪、加熱)、和電氣功能(梳狀電刷開關(guān)、傳導(dǎo)導(dǎo)線)進(jìn)行整合于1塊晶片上，
你可以在電子顯微鏡下看到如針尖一般大小的齒輪在轉(zhuǎn)動，或是如頭髮直徑一般細(xì)小的轉(zhuǎn)子在轉(zhuǎn)動中量測到角速度，再將能量轉(zhuǎn)移成傳感模式
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