本文標(biāo)題："表面輪廓量測(cè)方法可以使用表面輪廓測(cè)厚儀和掃描式顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 技術(shù)文章 ------
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表面輪廓的量測(cè)方法可以使用表面輪廓測(cè)厚儀和掃描式電子顯微鏡
光阻與基板之蝕刻速率對(duì)于我們?cè)谥谱靼穗A微透鏡及灰階微透鏡之重要性，
以及表面輪廓之量測(cè)方法有表面輪廓測(cè)厚儀及掃描式電子顯微鏡來(lái)進(jìn)行量測(cè)八階及灰階微透鏡。
杜曼-格林干涉法對(duì)于長(zhǎng)焦距的灰階微透鏡而言，在焦距的
±0.5cm 處也有干涉條紋的產(chǎn)生，因此焦距的誤差在±2%左右﹔此干
涉法無(wú)法量測(cè)短焦距的八階微透鏡。云紋干涉法對(duì)長(zhǎng)焦距或是短焦
距的微透鏡都可用此方法量測(cè)，對(duì)長(zhǎng)焦距的灰階微透鏡而言，若在
元件尺寸內(nèi)的干涉條紋數(shù)多一條或少一條會(huì)造成量測(cè)焦距的誤差在
2%﹔對(duì)短焦距的八階微透鏡而言，焦距的量測(cè)誤差仍然太大
(±40%)﹔改進(jìn)的方式則需儘量增加八階微透鏡移動(dòng)的距離，使量測(cè)
之單位長(zhǎng)度的干涉條紋數(shù)改變量增加，以提高焦距量測(cè)的精確度
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