本文標(biāo)題："掃描電容顯微鏡觀察摻雜元素影像的動(dòng)態(tài)觀察"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
人瀏覽過(guò)-----時(shí)間：2013-3-9 5:51:2
掃描電容顯微鏡觀察摻雜元素影像的動(dòng)態(tài)觀察
掃描電容顯微鏡
半導(dǎo)體的元件運(yùn)作及電性可以經(jīng)由不同的摻雜濃度及自由載子的分佈來(lái)控制，
被用來(lái)分析摻雜元素或載子的一維空間分佈及濃度變化。
以往，制程發(fā)展工程師可利用一維擴(kuò)散模型，以模擬計(jì)算尋求最佳化的制程條件。
但隨著半導(dǎo)體元件深次微米化的進(jìn)展，閘極通道變得越來(lái)越小，汲極與源極區(qū)域之摻雜元素的側(cè)向擴(kuò)散效應(yīng)，
將強(qiáng)烈影響閘極通道內(nèi)摻雜元素的分佈與濃度變化，因此，如何取得多維空間的摻雜元素或載子濃度影像的動(dòng)態(tài)觀察與分析，
將是制程發(fā)展工程師建立準(zhǔn)確深次微米制程模擬模型的重要關(guān)鍵
后一篇文章：雙子葉植物葉片細(xì)微結(jié)構(gòu)觀察-植物研究顯微鏡 »
前一篇文章：« 掃描電容顯微鏡的應(yīng)用-上海光學(xué)儀器廠
tags:顯微鏡百科,金相顯微鏡,上海精密儀器,
掃描電容顯微鏡觀察摻雜元素影像的動(dòng)態(tài)觀察,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)
本頁(yè)地址：/gxnews/575.html轉(zhuǎn)載注明
本站地址：/
http://www.xianweijing.org/