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本文標(biāo)題:"光學(xué)顯微鏡采用非接觸方法來(lái)測(cè)量表面粗糙度"

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光學(xué)顯微鏡采用非接觸方法來(lái)測(cè)量表面表面粗糙度儀

 
使用照相記錄的斑紋干涉量度學(xué)
 
    干涉儀是測(cè)量波列之間相位差的光學(xué)儀器,由此推論,它
也是利用光的波長(zhǎng)測(cè)量長(zhǎng)度的光學(xué)儀器.
 
指出,當(dāng)光的波列本身是復(fù)雜的亦即是斑紋圖樣場(chǎng)時(shí),不能直
接作出這些測(cè)量.需要實(shí)行某種光學(xué)處理來(lái)提取信息.在很
多情況下,這個(gè)中間步驟最好是通過(guò)照相記錄斑紋圖樣強(qiáng)度
分布來(lái)實(shí)現(xiàn).當(dāng)然必須使用能分辨斑紋的照相材料,這可能
需要使用細(xì)顆粒的全息干板或膠片.照相法的優(yōu)點(diǎn)不僅在
于能提供一個(gè)光學(xué)濾波器重新插入光學(xué)系統(tǒng)中,能作“活”
測(cè)量,而且用雙曝光法能永久記錄一段時(shí)間內(nèi)發(fā)生的相位變
化.全息干涉量度學(xué)中使用照相記錄的情況與此類(lèi)似.
 
需要尋找一種良好的非接觸方法來(lái)測(cè)量表面應(yīng)變,即一
種取代常規(guī)應(yīng)變計(jì)的方法,無(wú)疑地促進(jìn)了斑紋干涉量度學(xué)的
發(fā)展.雖然已經(jīng)知道全息干涉量度學(xué),能夠測(cè)量三維空間
內(nèi)總的表面位移和形變,但實(shí)際上要把運(yùn)動(dòng)的面內(nèi)分量與離
面分量分開(kāi)是困難的.而且這個(gè)方法對(duì)位移和轉(zhuǎn)動(dòng)的不同方
向的靈敏度可以顯著不同.要測(cè)量應(yīng)變,我們只需要測(cè)量面
內(nèi)位移,并找出它的變化與所要求的方向上的距離之間的函
數(shù)關(guān)系.將要指出,斑紋干涉量度學(xué)能做到這一點(diǎn),與垂直于
表面的方向上發(fā)生的任何位移無(wú)關(guān).

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