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本文標題:"光學零件輪廓形狀測量都是非接觸測量,測量顯微鏡"

發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間:2015-7-22 16:27:12

光學零件輪廓形狀測量都是非接觸測量,測量顯微鏡

 
形狀測量
 
    使用莫爾拓撲法的測量其最大特點是非接觸測量,它適用于
以往不可能測量的對象.現在來記述一下已能測量的例子.在整塊
布面上,將用縫紉機軋出的表面形狀進行數字化是不容易的.
測量法得到的用縫紉機軋制布料表面形狀的等
高線圖像.此時等高線的間隔是1.Omm.為從這個等高線圖形中將
布料各點的值數值化,要使用分析裝置.用得到的數據作成所需的
斷面上的斷面圖.斷面圖的繪制也可使用分析裝置以數字化連續
進行.
 
機械零件等產品往往要求l0μm-一1.Oμm左右的粗表面平面
度.對于幾個駐組的乎麗度測量,利用光波波長的干涉測量法是
合適的,但是對于10μm—1.0μm的平面度測量,就不能采用干
涉法.這種情況的零件其表面狀態往往也是粗糙的,從這一方面
來看也不能應用表面干涉法.利用莫爾拓撲測量法的平面度測量
可適用于這樣的零件.
它適用于因淬火而造成的齒形變形能
從法蘭盤面的變形加以推斷的情況.若利用莫爾拓撲測量作為臨
界值樣板使用,則對零件的挑選是有利的.莫爾條紋是數字量,
利用莫爾條紋的條數作成臨界值進行挑選,可容易地引入到加工
過程中.
 

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