本文標(biāo)題："表面粗糙度會(huì)影響衍射圖分辨力,表面檢驗(yàn)顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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表面表面粗糙度儀會(huì)影響衍射圖分辨力,表面檢驗(yàn)顯微鏡
為了制造復(fù)制模，用一層漆膜覆蓋待檢驗(yàn)的表面，這層漆膜
在干涸后含有該表面的細(xì)節(jié)。然后，從表面仔細(xì)剝?nèi)ミ@層膜，以
免損傷有用的表面。為了改善電子象的襯度，將復(fù)制表面蔭蔽，
即用真空汽化法沿一定方向沉積一層原子序數(shù)高的金屬。將一層
碳或其它無定形材料置于真空中沿表面垂直方向蒸發(fā)。最后，將
在解釋用這種方法獲得的象時(shí)，另一種困難是，在同一復(fù)制
模上不能連續(xù)觀測大大小小的表面。連續(xù)觀測就可以確定所觀測
的特征的位置和相互關(guān)系。此外，在復(fù)制模上也粳難找出一定面
積的實(shí)際表面。復(fù)制模的優(yōu)點(diǎn)是，它是一種非破棼性方法，能觀
測表面在磨損過程不同時(shí)期的演變。
通常，反射衍射圖比較分散，其分辨能力不及透射圖的分辨
能蔫用反射技術(shù)時(shí)，表面粗糙度會(huì)影響衍射圖的分辨能力。當(dāng)
粗糙度很高時(shí)，除了反射本身外，還會(huì)出現(xiàn)穿過微凸體頂峰的透
射規(guī)象。因此，用衍射來檢驗(yàn)在摩擦副表面上形成的薄層時(shí)，只
席粗糙度低的表面。
試樣表面上的光點(diǎn)位置受到插在聚光透鏡與物鏡之間的
一組偏轉(zhuǎn)線圈所控制，從而保證最終聚焦。偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)使表面能用
類似于電視中所用的掃描技術(shù)來檢驗(yàn)。
試樣所發(fā)射的次級(jí)電子被閃爍器一倍增器換能器所收集。這
時(shí)給出的電信號(hào)與所用的次級(jí)電子流強(qiáng)度成正比，經(jīng)過適當(dāng)放大
后可調(diào)制陰極射線管的強(qiáng)度。使兩束電子束同步地偏移(偏離顯
微鏡和陰極射線管)，可顯示待檢驗(yàn)表面的光學(xué)照片。應(yīng)該指出，
和其它顯微鏡不同，這種顯微鏡不能直接提供表面的象；只有靠
分析器電子束與陰極射線管電子束以不同的幅度進(jìn)行掃描，才能
得到放大。最終的象是逐點(diǎn)形成的，而分辨率取決于試樣電子點(diǎn)
的直徑。目前，直徑能小于1μm，從而導(dǎo)致實(shí)際分辨率小于1μm．
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