本文標題："柱狀微結(jié)構(gòu)的表面輪廓量測可以使用那些儀器"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------
人瀏覽過-----時間：2013-3-2 22:30:10
柱狀微結(jié)構(gòu)的表面輪廓量測可以使用那些儀器
柱狀微結(jié)構(gòu)在 40X 物鏡下的光學顯微鏡觀察影像，是以差動共焦顯微術(shù)系統(tǒng)進行掃瞄，
以 632.8 nm 波長的雷射光源，搭配數(shù)值孔徑 0.65 的 40X 物鏡。圖六(c)
是沿著(b)圖中的虛線所得到的縱向剖面數(shù)據(jù)分析，可以得到柱狀結(jié)構(gòu)的直徑與高度。由于
柱狀微結(jié)構(gòu)深寬比大，且分佈密度高，一般的探針式表面量測技術(shù)，例如探針表面輪廓儀
或原子力顯微鏡(AFM)、
探針式掃瞄顯微鏡(SPM)，由于針尖形狀與掃瞄機制受限，對于此類型的樣品，無法提供準確且不具傷害性的量測結(jié)果。
一般若要量測高深寬比或高週期密度的微米尺度元件，都需要采用 SEM，然 SEM 造價高昂且操作不易。而差動式共焦顯微
術(shù)的微米級動態(tài)范圍與奈米尺度的縱向解析度，與光學技術(shù)的非接觸表面量測特性，對于
柱狀微結(jié)構(gòu)的表面輪廓量測，提供了新的解決方案
后一篇文章：高精度顯微鏡影像技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用-上光儀器 »
前一篇文章：« 以激光為光源設(shè)計具光譜和顯微鏡整合的光學量測儀
tags:技能,金相顯微鏡,上海精密儀器,
柱狀微結(jié)構(gòu)的表面輪廓量測可以使用那些儀器,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)
本頁地址：/gxnews/557.html轉(zhuǎn)載注明
本站地址：/
http://www.xianweijing.org/