本文標(biāo)題："測量元件的過程中所產(chǎn)生的誤差原因-工具顯微鏡"
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制作元件和測量元件的過程中所產(chǎn)生的誤差原因-工具顯微鏡
在活性離子蝕刻方面繞射式光學(xué)元件外型的準(zhǔn)確度會直接影響
元件的繞射效率的高低。
量測部分的結(jié)果相互比較有了 10%的誤差，因此我們將探討出在制作元
件和測量元件的過程中所產(chǎn)生的誤差所在，其主要的誤差有下列幾
種：
(一)對準(zhǔn)的誤差--由于我們在制作八階微透鏡，需要經(jīng)過 3 次對
準(zhǔn)的動作，雖然設(shè)計了大小不同的對準(zhǔn)記號，但因為曝光機上的物
鏡放大倍率和焦深不足，使得在對準(zhǔn)時無法同時看清楚光罩上和基
板上的圖案﹔而且也受限于個人的技術(shù)問題及眼睛的靈敏度等問題，都會造成對準(zhǔn)上的誤差。
(二)曝光顯影的誤差--將光罩上的圖案轉(zhuǎn)到基板上時，曝光時間和顯影時間均會影響元件的制作。
如果曝光及顯影的條件過量或者不足，都會影響到光阻所形成的線寬和圖案。
(三)蝕刻的誤差--在蝕刻過程中，蝕刻腔體內(nèi)氣壓的穩(wěn)定度、氣
體流量的穩(wěn)定度、或是無線電頻率之交流電功率的震盪起伏以及基
板與光阻的蝕刻速率比的穩(wěn)定度等條件，都會影響到元件的品質(zhì)
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