本文標(biāo)題："工業(yè)測量顯微鏡垂直方向成像解析度不足"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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工業(yè)測量顯微鏡垂直方向成像解析度不足
一為『三維掃瞄機(jī)二代 』，另一為『 低溫共軛焦顯微鏡 』
垂直方向解析度不足一直是所有影像系統(tǒng)的問題，工業(yè)上利用光學(xué)三角測量法(Optical triangulation) 測量z軸距離，
并藉由掃描方式得到三維影像。第二代則是利用斜向入射的條紋圖形(Moire pattern)，并配合掃描即可快速得到高解析度三維影像，
設(shè)計(jì)用于斜向投影的（30度）的成像鏡頭，以及LED的背光系統(tǒng)，條紋的亮度均勻度在5 x 5 mm范圍，對比度可達(dá) 68.7％ ，亮度均勻度可達(dá)78％。
本文第二部份探討在深1600mm超導(dǎo)磁鐵內(nèi)裝置共掃描軛焦掃描探測器(Scanning confocal probe)，此影像探測鏡頭除了可偵測樣品電性外，
還包含光纖導(dǎo)入的激發(fā)光源、即時(shí)CCD影像監(jiān)測與筒共軛焦掃描，可在低溫與高磁場下測量電信訊號與螢光影像特性。
最大挑戰(zhàn)為筒身長達(dá)1600mm為一般顯微鏡10倍，因此像差均會被放大十倍，因此成像鏡頭組的設(shè)計(jì)與組裝為成敗關(guān)鍵。
依據(jù)現(xiàn)代顯微鏡來設(shè)計(jì)我們的組體架構(gòu)，配合光學(xué)設(shè)計(jì)模擬軟體ZEMAX來設(shè)計(jì)透鏡組合，
解析度可達(dá)2.96um，MTF均在0.8以上，能量可達(dá)入瞳總強(qiáng)度76%。
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