本文標題:"工件影像測量-微細元件檢測工具顯微鏡"
工件影像測量-微細元件檢測工具顯微鏡
主要設(shè)計以數(shù)位投影條紋技術(shù)和相位移量測原理,發(fā)展數(shù)位投影微三維輪廓掃描量測系統(tǒng)。
隨著微機電技術(shù)的成熟,目前微細元件檢測技術(shù)不斷的開發(fā),本發(fā)展系統(tǒng)藉由整合數(shù)位微鏡芯片(Digital Micromirror Device, DMD),其具有高亮度、高對比度與高分辨率的特性,提供物體三維量測之結(jié)構(gòu)光源,
由電腦控制條紋輸出,能靈活的控制投影大小與變化條紋,精確的將投影條紋投射在物體表面,
快速進行三維輪廓量測。
由微投影光學鏡組設(shè)計構(gòu)成,能調(diào)整投影光源使其聚焦于約1500*2000μm2;~6750*9000μm2;范圍內(nèi)
(分辨率約可達3μm/ pixel),并投射在物體表面上,依照量測范圍和解析度任意產(chǎn)生理想結(jié)構(gòu)光柵
以適應(yīng)各種量測需求。另一個特色是能以適應(yīng)影像擷取角度,有效提升量測之分辨率。
而本系統(tǒng)整合多種相位重建技術(shù),以建立量測物體理想相位重建結(jié)果。
量測誤差范圍在3%以下,重復性量測平均誤差12μm以內(nèi)。其三維全場表面量測范圍從4百微米到十幾厘米,
能提供一個精確和快速量測的量測結(jié)果。
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